液晶制造装置用精密XYθ平台
规格
行程：690×1, 550mm
尺寸：1,600×1,660mm
定位时间：400msec
最高速度：500mm/sec
真直度（垂直/水平）
X轴：±1.2μm、 ±1.13μm
Y轴： ±2μm、 ±0.63μm
速度稳定性：±0.1%（35mm/sec时）
采样周波数：100Hz
相关推荐
速北直驱柔性传输系统在医疗器械生产领域
速北直驱柔性传输系统在医疗器械生产领域也有广泛的应用，今天给大家展示的，是一条注射器生产的磁悬浮循环线。 采用的是水平接驳形式，线长85米，配置了20个小车动子，负载按30千克设计，运行速度零点五米